מהו מלטש מכני כימי?

מכונת הליטוש הכימי מכאנית היא מכשיר לבדיקת תהליך המשמש בתחומי האלקטרוניקה וטכנולוגיית התקשורת, תעופה וחלל מדע וטכנולוגיה

השתמשו במים דה-יוניים להדבקת פרוסות סיליקון או השתמשו בפרוסות סיליקון ספיחה ואקום לצורך ליטוש, תוך נטישת הדרך המסורתית של שעווה והדבקת פרוסות סיליקון, אשר תורמת לניקוי פרוסות סיליקון לאחר ליטוש. 2. עם פונקציית לחץ חזרה, זה יכול לשפר משמעותית את אחידות הליטוש. 3. מצויד במערכת זיהוי נקודות קצה של ליטוש למניעת ליטוש יתר. אם לוקחים SiO2 כדוגמה, WIWNU (אי-אחידות בתוך השבב) פחות או שווה ל-3 אחוזים, WTWNU (אי-אחידות בתוך השבב) פחות או שווה ל-5 אחוז, ו-RMS (20μm ×20μm) הוא פחות מ-0.4 ננומטר.